[发明专利]掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201710973499.8 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107779817B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 姜亮;李金川 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板及其制作方法。本发明的掩膜板，在掩膜边框上设置与多个掩膜片对应的多对凹槽，每一掩膜片均具有与其所对应的一对凹槽重合的部分，同时设置与多个掩膜片对应的多对锁紧配件，每一锁紧配件均包括配合部、及设于配合部两侧的两个连接部，利用锁紧配件的配合部与对应的凹槽配合将掩膜片与凹槽重合的部分夹紧，同时将锁紧配件的连接部与掩膜边框可拆卸连接，从而将多个掩膜片固定在掩膜边框上，在对掩膜板进行重做制程时，仅需要将锁紧配件从掩膜边框上拆下，即可完成掩膜边框与掩膜片的分离，因此无需对掩膜边框进行打磨加工，降低了重做制程的复杂程度，同时延长了掩膜边框的使用寿命，有利于降低产品成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括掩膜边框(100)、设于所述掩膜边框(100)上的多个掩膜片(200)，所述掩膜边框(100)具有一开口(120)，所述掩膜边框(100)的顶面或外侧面上设有分别与多个掩膜片(200)对应的多对凹槽(110)，每一对凹槽(110)中的两个凹槽(110)分别位于开口(120)的两侧；其特征在于，包括：安装于所述掩膜边框(100)上且分别将多个掩膜片(200)固定在掩膜边框(100)上的多对锁紧配件(300)；每一锁紧配件(300)均包括配合部(310)、及设于配合部(310)两侧的两个连接部(320)；每一掩膜片(200)均具有与其所对应的一对凹槽(110)重合的部分，与每一掩膜片(200)对应的一对锁紧配件(300)的配合部(310)分别与对应的一对凹槽(110)配合将该掩膜片(200)与该一对凹槽(110)重合的部分夹紧，同时每一锁紧配件(300)的两连接部(320)分别与掩膜边框(100)可拆卸连接，从而将多个掩膜片(200)固定在掩膜边框(100)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710973499.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
