[发明专利]一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜有效
| 申请号： | 201710972599.9 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107815645B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 王文权;曹明;刘亮 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京阳光天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11671 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜，由下述原子百分比的成分组成：Cu 2at％～38at％，Al 0～12at％，MoS2余量；制备方法包括以下步骤：在磁控溅射镀膜前，在基底表面预沉积Ti或Al预结合层；金属靶材和MoS2靶材进行磁控溅射，得到低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜。本发明改良了二硫化钼固体润滑膜与金属添加剂结合的成分体系，解决了二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 低摩擦系数 二硫化钼 复合固体 基金属 润滑膜 固体润滑膜 磁控溅射镀膜 金属添加剂 原子百分比 耐磨性 成分体系 磁控溅射 基底表面 金属靶材 使用环境 使用寿命 基薄膜 结合层 预沉积 靶材 制备 薄膜 改良 | ||
【主权项】：
1.一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜，其特征在于，由下述原子百分比的成分组成：Cu 25at%~30at%，Al 5at%~10at%，MoS2余量；所述低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜的制备方法，包括以下步骤：步骤A1，预结合层溅射：在磁控溅射镀膜前，采用射频电源，在预溅射功率为120W的条件下在基底表面预沉积Ti或Al结合层10min；所述预结合层的厚度为28nm~35nm；步骤A2，磁控溅射镀膜：本底真空度为5×10‑4Pa~5×10‑5Pa，保护气体采用氩气，工作气压为1Pa，基底温度为常温，衬底旋转速度为3r/min~5r/min，靶基距为15cm~17cm；设置金属靶材的溅射条件：5W~60W直流溅射靶电源；设置MoS2靶材的溅射条件：100W射频溅射靶电源；溅射时间为2.5h~3.5h，得到所述低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜；还包括对制得的所述低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜在600℃ ~800℃的温度下进行退火热处理的步骤；所述低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜的厚度为0.3μm~3μm。
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