[发明专利]基板处理装置在审
| 申请号： | 201710959865.4 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109277228A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 裴庆政;梁惠晶 | 申请（专利权）人： | 株式会社科威-艾乐 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B13/04;B05C1/06;B05C9/12;B05C13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种基板处理装置，本发明的基板处理装置包括：提供基板被处理的处理空间的腔体；位于所述腔体内并使所述基板被安置的卡盘(chuck)；可移动地设置在所述腔体内，并在所述卡盘上面涂上涂布液的涂布部件。 | ||
| 搜索关键词： | 基板处理装置 基板 体内 可移动地设置 处理空间 涂布部件 涂布液 卡盘 腔体 安置 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔体，基板被引入该腔体；卡盘(chuck)，其位于所述腔体内，用来安置所述基板；以及涂布部件，可移动地设置在所述腔体内，在所述卡盘上面涂上涂布液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社科威-艾乐，未经株式会社科威-艾乐许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710959865.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：旋转喷涂系统及其治具
- 下一篇：机器人系统
