[发明专利]靶材制造方法在审
| 申请号： | 201710957401.X | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109666907A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;刘宁;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21B37/16;B21J5/08;B21J5/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材制造方法，包括：提供锻件靶材，所述锻件靶材包括溅射面；采用压延工艺对所述锻件靶材进行压延处理，使得所述锻件靶材在垂直所述溅射面方向的压延厚度变形率为40％～60％，形成成品靶材；其中，所述压延厚度变形率为压延前后的厚度变化量与压延前厚度的比值。所述压延厚度变形率小，则所述锻件靶材内沿垂直溅射面方向的应力累积小，因而锻件靶材内部不易产生(111)织构聚集，从而可减少(111)织构的数量，提高形成的成品靶材的溅射速率，改善成品靶材的溅射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 压延 锻件 变形率 溅射面 织构 垂直 厚度变化量 压延处理 应力累积 溅射 制造 | ||
【主权项】：
1.一种靶材制造方法，其特征在于，包括：提供锻件靶材，所述锻件靶材包括溅射面；采用压延工艺对所述锻件靶材进行压延处理，使得所述锻件靶材在垂直所述溅射面方向的压延厚度变形率为40％～60％，形成成品靶材；其中，所述压延厚度变形率为压延前后的厚度变化量与压延前厚度的比值。
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