[发明专利]一种离子注入机中剂量控制系统在审
| 申请号： | 201710957037.7 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109671606A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 田龙;孙腾;李冠嫁 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子注入机中剂量控制系统，属于半导体制造领域。一种离子注入机中剂量控制系统，包括上位机(1)、光缆(2)、嵌入式系统(3)、法拉第筒(4)、同轴电缆(5)、剂量控制器(10)及其内部的档位选择与AD转换模块(6)、束流检测设备(7)、波形发生器(8)、X/Y向扫描电源(9)。说明书对一种离子注入机中剂量控制系统做出了详细说明，并给出了具体实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 剂量控制系统 离子注入机 半导体制造领域 波形发生器 剂量控制器 嵌入式系统 档位选择 法拉第筒 检测设备 扫描电源 同轴电缆 上位机 束流 光缆 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入机中剂量控制系统，其特征在于：该系统包括上位机(1)、光缆(2)、嵌入式系统(3)、法拉第筒(4)、同轴电缆(5)、剂量控制器(10)及其内部的档位选择与AD转换模块(6)、束流检测设备(7)、波形发生器(8)、X/Y向扫描电源(9)。
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