[发明专利]基于等离子体的可编程电/磁调控多功能器件及实现方法

摘要

本发明公开了一种基于等离子体的可编程电/磁调控多功能器件及实现方法，其结构包括单一的等离子体层，它由石英玻璃腔体、激励用电极阵列、背部的电控磁铁阵列（电控磁极阵列）及其内部的惰性气体组成。用编程控制得到的非磁化等离子体与磁化等离子体薄层来构成多层结构，并以分形数列为规律迭代构成基于非磁化等离子体/磁化等离子体多层结构。该款基于单层等离子体的可编程电/磁调控多功能器件实现简单，多功能集成于一体；且由单一的等离子体层构成，不含其它介质。通过对外部编程逻辑阵列的编程控制来实现对该器件功能间的切换，并易实现对工作频率的调谐、结构紧凑、易实现芯片一体化设计和工作带宽更宽等特点。

主权项

基于等离子体的可编程电/磁调控多功能器件，其特征在于，该多功能器件由单一的等离子体层构成，所述等离子体层采用双端激励的方式获得，其上下端各有用于激励产生等离子体的电极阵列，构成一组激励电极，该组激励电极连接一个等离子体激励源进行激励，等离子体激励源的通断和电压大小通过可编程控制逻辑阵列进行控制，实现对等离子体层的等离子体密度的调控；该组激励电极的上下电极阵列之间充满惰性气体；所述等离子体层的背面设有电控磁铁阵列，电控磁铁阵列产生的磁场区域大小、强度大小和方向均通过可编程的逻辑阵列进行控制，实现对等离子体回旋频率的调控。