[发明专利]大口径系统的波前检测方法及系统

摘要

本发明涉及一种大口径系统的波前检测方法及系统，属于光学检测技术领域，适用于大口径光电成像系统的波前检测以及与大口径光电成像系统相关的检验设备如大型平行光管等的波前实时检测，该方法及系统采用多个五棱镜、平面反射镜与直导轨相结合的方式，利用五棱镜可以对以任意角度入射的光线的方向进行90°转向的特性，将通过大口径系统的靶面的发射光沿原光路返回至半反半透平面镜，再由半反半透平面镜反射至角度位置测量及处理装置，由角度位置测量及处理装置实现对大口径系统波前的重构并得到波前信息，可以对大口径系统的全口径同时进行采样，降低了环境对采样精度的影响，实现了大口径系统光学波前的高精度快速检测。

主权项

1.一种大口径系统的波前检测方法，其特征在于，包括以下过程：在大口径系统的焦面处放置靶面，所述靶面的发射光依次经过半反半透平面镜和所述大口径系统出射至反射装置；所述反射装置设置在所述大口径系统的出射口径前，且所述反射装置所在平面与所述大口径系统的光轴垂直，所述反射装置至少包括三条可相对旋转和相互重合的直导轨，且各个所述直导轨相互分散，每一所述直导轨上至少设置有两个用于对所述发射光进行折转的交错分布的五棱镜，每一所述直导轨在所述五棱镜的出射光方向的末端设置有一平面反射镜，所述五棱镜的出射光经对应的所述平面反射镜的反射后沿原光路返回至所述半反半透平面镜；每一所述直导轨上的所述五棱镜的交错分布方式相同，所述交错分布方式为相邻的任意两个所述五棱镜在所述直导轨的长度方向上的距离均相等，相邻的任意两个所述五棱镜在所述直导轨的宽度方向上的距离均相等，且任意两个所述五棱镜在所述直导轨的长度方向上和所述直导轨的宽度方向上均交错分布；所述半反半透平面镜将沿原光路返回的所述五棱镜的出射光反射至角度位置测量及处理装置；所述角度位置测量及处理装置获取各个所述五棱镜形成的靶面返回像，对每一所述直导轨上的全部所述五棱镜的所述靶面返回像进行数据处理，得到相应的质心位置信息，并根据所述质心位置信息进行波前重构，得到所述大口径系统的波前信息。