[发明专利]具有内置参考平面结构的封装对板互连结构有效

专利信息
申请号: 201710914774.9 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN107993987B 公开(公告)日: 2023-07-07
发明(设计)人: 罗伯特·约瑟夫·温泽尔;周庭东;戴维·克莱格 申请(专利权)人: 恩智浦美国有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/488;H01L23/498
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 倪斌
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种互连结构的实施例,所述互连结构包括:参考平面结构,所述参考平面结构具有第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面,所述参考平面结构包括从所述第一主表面到所述第二主表面的多个通孔;多个导电柱,每个导电柱在通孔内居中;以及多个隔离结构,每个隔离结构填充每个导电柱与所述参考平面结构的周围部分之间的所述通孔内的环形区。
搜索关键词: 具有 内置 参考 平面 结构 封装 互连
【主权项】:
一种互连结构,其特征在于,包括:参考平面结构,所述参考平面结构具有第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面,所述参考平面结构包括从所述第一主表面到所述第二主表面的多个通孔;多个导电柱,每个导电柱定位于通孔内;以及多个隔离结构,每个隔离结构填充每个导电柱与所述参考平面结构的周围部分之间的所述通孔内的环形区。
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