[发明专利]用于水浸式和接触式探头评估的全自动多参数测量装置

摘要

本发明涉及一种用于水浸式和接触式探头评估的全自动多参数测量装置，包括基本框架、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、接触式探头试块装置和水浸式探头试块装置，所述Z轴移动机构包括Z轴移动件，所述Z轴移动件的数量为两个，分别为接触式探头Z轴移动件和水浸式探头Z轴移动件，底部分别设有接触式探头安装结构和水浸式探头安装结构，所述接触式探头安装结构采用五个自由度设计，所述水浸式探头安装结构采用两个自由度设计。本发明结构简单紧凑，灵活性好，检测准确度高，能够按照探头性能评估标准的要求完成探头性能评估，既能够评估接触式探头又能够评估水浸式探头。

主权项

1.一种用于水浸式和接触式探头评估的全自动多参数测量装置，其特征在于包括：/n基本框架，用于形成整个装置的主体和支撑部分；/nX轴移动机构，安装在所述基本框架上，设有能够沿X轴方向上直线运动的X轴移动件，用于探头在X轴方向上的调节；/nY轴移动机构，安装在所述X轴移动件上，设有能够沿Y轴方向直线运动的Y轴移动件，用于探头在Y轴方向上的调节；/nZ轴移动机构，安装在所述Y轴移动件上，设有能够沿Z轴方向直线运动的Z轴移动件，用于探头在Z轴方向上的调节，Z轴移动件上设有探头安装结构，用于安装探头；/n接触式探头试块装置，设置在所述基本框架上，用于接触式探头对相关试块的标准探测，固定安装有若干接触式探头评估用的接触式探头标定试块；/n水浸式探头试块装置，设置在所述基本框架上，用于水浸式探头对相关试块的标准探测，固定安装有若干水浸式探头评估用的水浸式探头标定试块，所述水浸式探头标定试块包括球靶和石英块，/n所述接触式探头试块装置包括接触式探头试块框架和接触式探头试块安装板，所述接触式探头试块框架以固定或可拆卸的方式连接在所述基本框架上，所述接触式探头试块安装板安装在所述接触式探头试块框架的上部，所述接触式探头标定试块设置在所述接触式探头试块安装板上，各所述接触式探头标定试块的上表面与所述接触式探头试块安装板的上表面处于同一平面。/n