[发明专利]一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极及其制备方法，该多层结构为Mo基底(1～2μm)/惰性金属层(10～500nm)/MoS2层(10～50nm)。该方法是在Mo基底表面先制备惰性金属层，再沉积Mo层后经硫化形成MoS2层，形成Mo基底/惰性金属层/MoS2层的多层结构的背电极。该多层结构的背电极可应用于CZTS薄膜太阳能电池中，不仅可以有效阻止CZTS与Mo之间的反应，提高CZTS薄膜太阳能电池的稳定性以及基底与后续上层结构之间的附着力，还可以实现MoS2层厚度的精确控制，保证CZTS与背电极之间优良的欧姆接触，改善背电极的电荷收集能力，提高CZTS薄膜太阳能电池的器件性能。

主权项

一种多层结构的铜锌锡硫薄膜太阳能电池背电极，其特征在于：背电极包括三层结构，基底层为钼层，基底层上面依次设置有惰性金属层和二硫化钼层。