[发明专利]一种交替叉指式湿度传感器在审
| 申请号： | 201710898472.7 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107831196A | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 马清 | 申请（专利权）人： | 马清 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 郑州裕晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)41142 | 代理人： | 王瑞 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种交替叉指式湿度传感器，包括第一叉指体和第二叉指体，所述第一叉指体包括第一主杆、第一支杆和第一电极，所述第一主杆一侧均匀设置所述第一支杆，所述第一支杆两侧均匀对称设置第一电极，所述第二叉指体包括第二主杆、第二支杆和第二电极，所述第二主杆相对第一主杆一侧均匀设置所述第二支杆，所述第二支杆两侧均匀对称设置第二电极，所述第一电极与所述第二电极交替设置，所述第一电极和所述第二电极外侧面均设置湿度敏感材料层；本发明在保证电容值的同时，大幅减小了叉指电容结构的长宽比，实现了灵敏度与可靠性的良好折衷，提升了叉指电容式湿度传感器的可靠性，提升了器件在制备过程中的成品率和使用过程中的有效寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交替 叉指式 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种交替叉指式湿度传感器，包括第一叉指体和第二叉指体，其特征在于：所述第一叉指体包括第一主杆（1）、第一支杆（2）和第一电极（3），所述第一主杆（1）一侧均匀设置所述第一支杆（2），所述第一支杆（2）两侧均匀对称设置第一电极（3），所述第二叉指体包括第二主杆（4）、第二支杆（5）和第二电极（6），所述第二主杆（4）相对第一主杆（1）一侧均匀设置所述第二支杆（5），所述第二支杆（5）两侧均匀对称设置第二电极（6），所述第一电极（3）与所述第二电极（6）交替设置，所述第一电极（3）和所述第二电极（6）外侧面均设置湿度敏感材料层（7）。
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