[发明专利]用于X射线层析摄影术的布置有效
| 申请号： | 201710881209.7 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107917923B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | P.斯特斯卡;M.昂科夫斯基;T.韦伊斯塔维;A.F.德荣格;B.布伊斯塞;P.布勒伊特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/046 | 分类号： | G01N23/046 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;杜荔南 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用X射线层析摄影术研究样本的方法，包括：（a）将样本安装到样本保持器；（b）沿着通过样本的第一视线利用X射线射束辐照样本；（c）检测透射通过样本的X射线通量并且形成第一图像；（d）针对通过样本的不同视线的系列而重复步骤（b）和（c），由此产生对应图像系列；（e）在所述图像系列上执行数学重建，以便产生样本的至少一部分的层析图，其中：样本设置在具有相关联的柱形轴线的基本上柱形的金属外壳内；通过将带电粒子射束定向到所述金属外壳的分区上而产生所述X射线射束，以便在所述分区处产生受限X射线源；所述不同视线的系列通过围绕所述柱形轴线旋转所述外壳而实现，由此引起所述分区相对于样本的相对运动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 射线 层析 摄影术 布置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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