[发明专利]一种窄束型线性离子源

摘要

本发明公开了一种窄束型线性离子源，包括阴极外环盖板、阴极内环盖板、阴极壳体、环形阳极、绝缘支柱、条形磁钢、气体电离室和环形离子束引出口；本发明整个环形区域都可以实现电离，离子线束较为集中，效率高；进气均匀，合理的气流布置和均布的气孔；磁场排布使用条形磁铁均匀布置，磁场均匀性好；电、磁场处于正交位置；气体电离室的高度较小，可防止气体电离室内部气体电离几率；充足的水冷条件，对阴极、阳极、磁场同时水冷，可防止温度升高导致退磁的功能；结构简易，拆装方便，易于维护。

主权项

1.一种窄束型线性离子源，其特征在于，包括阴极外环盖板(1)、阴极内环盖板(2)、阴极壳体(3)、环形阳极(4)、绝缘支柱(5)、条形磁钢(6)、气体电离室(7)和环形离子束引出口(8)；所述阴极外环盖板(1)和阴极内环盖板(2)在阴极壳体(3)的顶部开口处，环形离子束引出口(8)在阴极外环盖板(1)和阴极内环盖板(2)之间，环形阳极(4)固定在绝缘支柱(5)上，环形阳极(4)和绝缘支柱(5)在阴极壳体(3)内部，绝缘支柱(5)的底部在阴极壳体(3)上，气体电离室(7)在环形阳极(4)上表面和环形离子束引出口(8)之间，条形磁钢(6)在环形阳极(4)的环形开口内；条形磁钢(6)和环形阳极(4)、阴极外环盖板(1)、阴极内环盖板(2)构成了环形放电槽，阴极外环盖板(1)、阴极内环盖板(2)和阴极壳体(3)构成了整个线性离子源的外壳；所述阴极壳体(3)、环形阳极(4)、阴极内环盖板(2)上分别设有冷水道(9)，阴极外环盖板(1)与阴极壳体(3)相连；所述在环形阳极(4)和条形磁钢(6)之间设有通气管道(10)，通气管道(10)延伸到阴极壳体(3)的底部；所述阴极壳体(3)的底部设有与通气管道(10)相连接的气体缓冲结构(30)。