[发明专利]脉冲激光光线的光斑形状检测方法有效
| 申请号： | 201710880932.3 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107894214B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 高乘佑;重松孝一;张渊扬 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供脉冲激光光线的光斑形状检测方法，能够容易地对激光光斑形状进行判定。照射对于检查用晶片(TS)具有吸收性的波长的脉冲激光光线。通过该照射，形成多个激光光斑(LS)并使相邻的激光光斑之间隔着间隙(S)。然后，利用拍摄单元(50)对激光光斑进行拍摄，利用控制单元(60)从拍摄而得的激光光斑图像中提取激光光斑的轮廓，计算与预先存储于存储单元(61)的理想的激光光斑形状的轮廓的相似度。并且，在相似度低于阈值的情况下，判定为激光光斑形状不适当，并通知该意思。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 光线 光斑 形状 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲激光光线的光斑形状检测方法，其中，该脉冲激光光线的光斑形状检测方法具有如下的步骤：检查用晶片载置步骤，将检查用晶片载置于卡盘工作台上；激光光斑形成步骤，在实施了该检查用晶片载置步骤之后，将聚光点定位于该检查用晶片的上表面，使相邻的激光光斑之间隔着间隙而连续地照射对于该检查用晶片具有吸收性的波长的脉冲激光光线，在该检查用晶片的上表面上形成多个激光光斑；拍摄步骤，在实施了该激光光斑形成步骤之后，利用拍摄单元对该激光光斑进行拍摄；计算步骤，从通过该拍摄步骤拍摄而得的激光光斑图像中提取激光光斑的轮廓，并计算出该轮廓与预先存储于存储单元的理想的激光光斑形状的轮廓的相似度；适当诊断步骤，在通过该计算步骤计算出的相似度低于阈值的情况下，判定为该激光光斑形状不适当；以及通知步骤，在通过该适当诊断步骤判定为该激光光斑形状不适当的情况下，通知这一意思。
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