[发明专利]用于基板的载具

摘要

描述了一种用于基板的载具。载具包括基板固定组件，其中基板固定组件包含一或多个固定单元，各固定单元包括：边缘接触表面，配置用以接触基板的边缘并定义接触位置；第一固定元件，具有第一表面，所述第一表面配置用以接触基板的第一基板表面，其中所述第一固定元件自接触位置延伸第一长度L1，所述第一长度实质上平行于第一基板表面；第二固定元件，具有第二表面，所述第二表面配置用以接触基板的第二基板表面，其中所述第二基板表面相对于所述基板的所述第一基板表面，且其中所述第二固定元件自接触位置延伸第二长度L2，所述第二长度实质上平行于第二基板表面；力元件，用于以第一及第二固定元件的至少一个向基板提供固定力。

主权项

一种在基板工艺腔室(600)中用以支撑基板(101)的载具(100)，包括：基板固定组件，其中所述基板固定组件包括一或多个固定单元(120)，其中各固定单元(120)包括：边缘接触表面(121)，配置用以接触所述基板(101)的边缘及定义接触位置；第一固定元件(122)，具有第一表面(124)，所述第一表面配置用以接触所述基板(101)的第一基板表面(102)，其中所述第一固定元件(122)自所述接触位置延伸第一长度(L1)，所述第一长度实质上平行于所述第一基板表面(102)；第二固定元件(123)，具有第二表面(125)，所述第二表面配置用以接触所述基板(101)的第二基板表面(103)，其中所述第二基板表面(103)相对于所述基板(101)的所述第一基板表面(102)，且其中所述第二固定元件(123)自所述接触位置延伸第二长度(L2)，所述第二长度实质上平行于所述第二基板表面(103)；力元件(130)，用以利用所述第一固定元件(122)及所述第二固定元件(123)的至少一个向所述基板(101)提供固定力(140)；其中，所述第一长度(L1)及所述第二长度(L2)之中较短的长度(L1，L2)与所述固定力(140)的组合提供动量；其中，所述一或多个固定单元(120)提供每基板边缘长度单位为10牛顿·毫米或更高的动量。