[发明专利]一种三氯氢硅合成炉及其增产降耗的方法

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅合成炉及其增产降耗的方法，包括炉体、管束和风帽，所述炉体为设置有下封口的管状炉体，炉体包括第一炉体以及布设于第一炉体上部的第二炉体，第二炉体上端的侧壁上布设有远传温度计，所述第一炉体上均匀布设有多个远传温度计，第一炉体上部的侧壁上设置有加料口，第一炉体的炉腔内设置有多块折流板、管束和风帽，第一炉体的外径圈布设有管束，所述管束包括一组相对平行设置的集箱和均匀平行排列的换热管，所述集箱之间通过多根换热管连接，管束固定于风帽的上端，所述风帽水平布设于第一炉体下封口的上部。本发明可有效的减少细硅粉的携带量、提高三氯氢硅的回收率。

主权项

一种三氯氢硅合成炉，其特征在于，包括炉体、管束和风帽（4），所述炉体为设置有下封口的管状炉体，炉体包括第一炉体（1）以及布设于第一炉体（1）上部的第二炉体(2)，所述第二炉体(2)的高度不大于第一炉体(1)高度的2倍，第二炉体（2）顶部开设有出气口（12），第二炉体(2)上端的侧壁上布设有远传温度计(5)，所述第一炉体(1)上均匀布设有多个远传温度计(5)，第一炉体(1)上部的侧壁上设置有加料口(8)，第一炉体(1)的炉腔内设置有多块折流板、管束和风帽(4)，所述折流板包括第一折流板(6)和第二折流板(7)，所述第一折流板(6)呈半椭圆形，第一折流板(6)自上而下等间距布设于第一炉体(1)的内径圈的上部，第一折流板(6)的下部水平布设有两块第二折流板(7)，所述第二折流板(7)呈半圆形，所述第一折流板（6）和第二折流板（7）上均开设有多个圆形通孔，第一折流板（6）和第二折流板（7）与水平面的夹角均不大于45°，第一炉体（1）的外径圈布设有管束，所述管束包括一组相对平行设置的集箱（3）和均匀平行排列的换热管（11），所述集箱（3）之间通过多根换热管（11）连接，管束固定于风帽（4）的上端，所述风帽（4）水平布设于第一炉体（1）下封口的上部。