[发明专利]一种MENS电容式气压传感器测试标定装置及方法在审
| 申请号： | 201710831476.3 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107741295A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 王杰;郝秀春;李伯全 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MENS电容式气压传感器测试标定装置及方法，其中装置包括压力容器、数字压力表、第一电动调节阀、空气泵、第二电动调节阀、导气管、固定插槽、支撑平台、计算机以及信号采集处理系统。用以根据所述数字压力表所采集的气压值调节所述空气泵、第一电动调节阀及第二电动调节阀，以调节所述压力容器内的气压，由被测试样检测压力容器内的气压输出传感器数据；上位机，用以获取转换的电压信号及电容信号，并采用反函数的传感器标定方法对所述MEMS电容气压传感器进行标定。上述装置结构简单可靠，成本低，可操作性强，整体的测试过程实现半自动化，提高了测试效率和测试精度，同时，标定原理极其简单，计算十分便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mens 电容 气压 传感器 测试 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS电容式气压传感器测试标定装置，其特征在于，包括压力容器(110)、上位机(170)、信号采集处理系统；连接于所述压力容器(110)上端的数字压力表(120)及第一电动调节阀(131)；连接于所述压力容器(110)的空气泵(140)；连接于所述空气泵(140)及压力容器(110)之间的第二电动调节阀(132)；所述的压力容器(110)、数字压力表(120)、第一电动调节阀(131)及第二电动调节阀(132)通过导气管(100)进行连接；所述压力容器(110)的底部放置MEMS电容式气压传感器(150)，用以采集所述压力容器(110)内的气压信号；并将MEMS电容式气压传感器(150)放置在压力容器(110)内的固定插槽(190)里；固定插槽(190)上有接线柱，能够与外部信号采集处理系统进行信号传递；位于所述压力容器(110)底部的支撑平台(180)，用以支撑所述压力容器(110)、数字压力表(120)和第一电动调节阀(131)；所述上位机(170)通过数据信号线(160)与信号采集处理系统相连，信号采集处理系统分别用于采集控制MEMS电容式气压传感器(150)的气压数据、空气泵(140)的电流数据、第一电动调节阀(131)的开度、第二电动调节阀(132)的开度、数字压力表(120)的气压数据，传递给上位机(170)由上位机进行转换处理。
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