[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，且公开了一种多晶硅铸锭炉，包括铸锭炉，铸锭炉的顶部设置有拉杆，拉杆的一端固定连接有炉胆，炉胆一侧的内壁固定连接有横向红外线加热器，炉胆的底部设置有保温托板，保温托板的表面开设有通孔，保温托板的顶部固定连接有支杆，支杆的顶部固定连接有石墨底板。本发明，通过氩气管的出口与硅液层水平面夹角为35至45度，氩气管中的氩气既可以使硅液层转动，从而使硅液层中含有的杂质在硅液层中得到充分扩散，避免凝固后的铸锭中存在杂质富集区，保证铸锭的电阻率分布均匀，通过通孔、导热孔和抽真空泵可以将铸锭炉中的氧气和水蒸气排出，防止氧气或者水蒸气与硅液层产生化学反应。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括铸锭炉(1)，其特征在于：所述铸锭炉(1)的顶部设置有拉杆(2)，所述拉杆(2)的一端固定连接有炉胆(3)，所述炉胆(3)一侧的内壁固定连接有横向红外线加热器(4)，所述炉胆(3)的底部设置有保温托板(5)，所述保温托板(5)的表面开设有通孔(6)，所述保温托板(5)的顶部固定连接有支杆(7)，所述支杆(7)的顶部固定连接有石墨底板(8)，所述石墨底板(8)的底部固定连接有锥形座(9)，所述石墨底板(8)的顶部固定连接有坩埚护板(10)，所述坩埚护板(10)的一侧固定连接有碳毡(11)，所述碳毡(11)的一侧固定连接有坩埚(12)，所述坩埚(12)的内壁固定连接有氮化硅膜(13)，所述坩埚(12)的内部填充有硅液层(14)，所述坩埚护板(10)的顶部固定连接有石墨盖板(15)，所述石墨盖板(15)的表面开设有导热孔(16)，所述炉胆(3)的内顶壁固定连接有纵向红外线加热器(17)，所述拉杆(2)的一侧固定连接有设置在铸锭炉(1)顶部的氩气管(18)，所述保温托板(5)的下方设置有溢流毯(19)，所述溢流毯(19)的内部设置有金属细丝(20)，所述金属细丝(20)的一端固定连接有铃铛(22)，所述铸锭炉(1)的一侧设置有抽真空泵(21)。