[发明专利]一种温度的测量方法及电迁移的测试方法有效
| 申请号： | 201710822916.9 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107607214B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 范庆言;尹彬锋;周柯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01R31/26 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种温度的测量方法，主要包括：提供一具有金属导电层，在所述金属导电层上设置有多个测量端口，其中，部分所述测量端口兼作电源端口，选取任意两个测量端口进行测量并计算，可以得到相应的导电段的实际温度与实际电阻值得关系，最后，计算并比较所述金属导电层上各个导电段的实际温度，即能获得所述金属导电层的实际温度分布情况。本发明提供的温度的测量方法，摆脱了现有技术中忽略了温度分布而仅采用金属导电层的平均温度作为其实际温度的方法，通过分段测量掌握了金属导电层的温度分布情况，进而提高了后续金属导电层的电迁移评估的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属导电层 测量端口 温度分布 测量 导电段 电源端口 分段测量 电迁移 电阻 评估 | ||
【主权项】：
1.一种温度的测量方法，其特征在于，包括：/n提供一金属导电层，所述金属导电层上设置有多个测量端口，其中，部分所述测量端口兼作电源端口，多个所述测量端口将所述金属导电层分为多个导电段；/n将所述金属导电层置于不同的环境温度下，并在各个环境温度下对所述电源端口依次施加第一电流和第二电流，并测量其中至少两个测量端口之间的导电段分别在对应所述第一电流时的第一电压值以及在对应所述第二电流时的第二电压值，以获取所述导电段在各个环境温度下对应所述第一电流时的第一电阻值和对应所述第二电流时的第二电阻值；/n根据不同的环境温度下所获得的对应所述第一电流时的第一电阻值，得到所述第一电阻值和所述环境温度的第一线性关系式，以及根据不同的环境温度下所获得的对应所述第二电流时的第二电阻值，得到所述第二电阻值和所述环境温度的第二线性关系式；/n分别提取出所述第一线性关系式与所述第二线性关系式中的斜率与截距，结合所述第一电流与所述第二电流的值，获得所述金属导电层中，导电段的实际温度与实际电阻值的关系式；具体根据如下公式得到导电段的实际温度与实际电阻值的关系式；/n
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