[发明专利]一种双面PERC晶硅太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种双面PERC太阳能电池的制备方法，包括以下步骤(1)在硅片正面和背面形成绒面；(2)在所述硅片正面进行扩散；(3)去除硅片正面磷硅玻璃；(4)采用单面离心刻蚀设备对硅片背面和侧面进行刻蚀；(5)对硅片进行退火；(6)在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜；(7)在硅片正面沉积氮化硅膜；(8)在所述硅片背面印刷背银主栅电极；(9)在所述硅片背面印刷铝栅线；(10)在所述硅片正面印刷正电极浆料；(11)对硅片进行高温烧结，形成背银电极和正银电极；(12)对电池进行抗LID退火。采用本发明，可以提升背面刻蚀的均匀性，从而提升双面PERC电池的背面膜色均匀性，提升产品良率。

主权项

一种双面PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在硅片正面和背面形成绒面，所述硅片为P型硅；(2)在所述硅片正面进行扩散，形成N型发射极；(3)去除扩散过程形成的正面磷硅玻璃；(4)采用单面离心刻蚀设备对硅片背面和侧面进行刻蚀；(5)对硅片进行退火；(6)在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜；(7)在硅片正面沉积氮化硅膜；(8)在所述硅片背面采用丝网印刷或喷墨方式印刷背银主栅电极；(9)在所述硅片背面采用丝网印刷或喷墨方式印刷铝栅线；(10)在所述硅片正面印刷正电极浆料；(11)对硅片进行高温烧结，形成背银电极和正银电极；(12)对电池进行抗LID退火。