[发明专利]用碳离子束辐照制备氧化锌条形波导的方法在审
| 申请号： | 201710789772.1 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107621675A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 明宪兵;张艺 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备氧化锌条形光波导的方法，属于光电子器件制备技术领域。将单晶ZnO的表面和两个端面光学抛光，样品表面上制备条形掩膜，再进行碳离子束辐照，清洗光刻胶掩膜，得到沟道条形光波导；或先用碳离子束辐照，再做光刻掩膜，再用Ar离子束进行刻蚀，得到脊形光波导。所形成的条形光波导可很好的保持氧化锌晶体的光学特性，在制备光开关、光调制器等方面具有潜在的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 辐照 制备 氧化锌 条形 波导 方法 | ||
【主权项】：
一种用碳离子束辐照与光刻技术相结合制备ZnO条形波导的方法，该制备方法包含：晶体表面光刻胶掩膜的制备和一定剂量和能量的碳离子束辐照ZnO晶体表面。
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