[发明专利]一种高温抗氧化自润滑多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201710776116.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107761063B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 韦春贝;林松盛;代明江;侯惠君;李洪;石倩;苏一凡 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C28/00 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所有限公司 44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高温抗氧化自润滑多层涂层及其制备方法。该涂层依次由在基体(1)上的打底层(2)和交替多层(3)组成，所述交替多层(3)是由AlCrSiN层(4)和MoAlSiN层(5)依次叠加构成。制备方法由基体清洗，离子溅射清洗，采用电弧离子镀沉积打底层和交替多层步骤组成。本发明制备的涂层具有硬度高、高温抗氧化性能好、摩擦系数低等特点，可以大幅度提高刀具、模具等在高温下的使用性能和使用寿命。本发明制备方法简单、工艺控制性好，绿色环保，成本低，易于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 氧化 润滑 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高温抗氧化自润滑多层涂层，其特征是高温抗氧化自润滑多层涂层依次由在基体 (1)上的打底层(2)和交替多层(3)组成，所述交替多层(3)是由AlCrSiN层(4)和MoAlSiN层(5)依次叠加构成，其中AlCrSiN层(3)单层厚度为50~300nm，MoAlSiN层(4)单层厚度为30~200nm，多层涂层总厚度为1~10μm。
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