[发明专利]一种异质结太阳能电池电极制作方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池电极制作方法，所述方法包括如下步骤：提供正、背面已沉积铜种子层的硅片；在硅片正、背面沉积一层牺牲层；在硅片正、背面的牺牲层上分别印刷有栅线图案的耐电镀油墨并固化；通过酸性溶液预处理，去除硅片正、背面的栅线图案区域的牺牲层；在硅片正、背面的栅线图案上电镀铜，形成铜栅线电极；通过碱性溶液，去除硅片正、背面的耐电镀油墨及牺牲层；通过金属蚀刻溶液，去除硅片正、背面的铜栅线区域外的铜种子层。本发明通过印刷价格低廉的耐电镀油墨替代成本昂贵的干膜，大幅降低了生产成本，印刷、紫外或热烘烤固化设备成熟度高，非常适合于大规模自动化生产。

主权项

1.一种异质结太阳能电池电极制作方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：提供正、背面已沉积铜种子层的硅片；在硅片正、背面沉积一层牺牲层；在硅片正、背面的牺牲层上分别印刷有栅线图案的耐电镀油墨并固化；通过酸性溶液预处理，去除硅片正、背面的栅线图案区域的牺牲层；在硅片正、背面的栅线图案上电镀铜，形成铜栅线电极；通过碱性溶液，去除硅片正、背面的耐电镀油墨及牺牲层；通过金属蚀刻溶液，去除硅片正、背面的铜栅线区域外的铜种子层。