[发明专利]柔性背照全透式纳米紫外焦平面探测器芯片

摘要

柔性背照全透式纳米紫外焦平面探测器芯片，涉及紫外焦平面探测器技术领域。在具有周期性纹理的聚酰亚胺柔性衬底上制备紫外探测器阵列，每个探测器作为感光像元。每个像元器件包括两个独立平行对称的ZnO薄膜，其上为金属电极薄膜。所述ZnO薄膜为ZnO纳米线生长的种子层。作为感光部分的纳米材料ZnO纳米线阵列在ZnO薄膜的侧壁自组织生长，桥接于两电极之间。紫外光由衬底背面入射。本发明以柔性材料为衬底，具有良好的柔韧性。同时，器件层结构简单，采用ZnO纳米材料，设计灵活，可实现高度的均匀性及探测效率。

主权项

一种柔性背照全透式纳米紫外焦平面探测器芯片，其特征在于，在柔性衬底上制备紫外探测器阵列，每个探测器作为一个感光像元；每个像元器件包括平行对称的两个独立的ZnO薄膜，ZnO薄膜上为金属电极薄膜，作为感光部分的纳米材料ZnO纳米线阵列在ZnO薄膜的相对的两侧壁间自组织生长，桥接于两电极之间，紫外光由衬底背面入射。