[发明专利]坐标测定装置和坐标校正方法

摘要

本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：坐标获取部，其在由限制单元限制了测定触头状态下由驱动机构使测定探头进行了移动时分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其根据坐标获取部的输出来生成由分别用于校正针对测定探头的移动量的线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。坐标获取部在线性校正元素的数量与非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取测定探头的移动量和探头输出。由此，能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。

主权项

一种坐标测定装置，具备：测定探头，其将具有用于与被测定物接触的测定触头的测针以能够移动的方式支承，并按照该测定触头的位移进行探头输出；驱动机构，其使该测定探头相对于所述被测定物相对地移动；以及处理装置，其基于该探头输出和由该驱动机构使该测定探头移动的移动量来运算所述被测定物的形状坐标，该坐标测定装置的特征在于，还具备限制单元，该限制单元限制所述测定触头的平动位移，所述处理装置具有：坐标获取部，在由所述限制单元限制了该测定触头的状态下由所述驱动机构使所述测定探头进行了移动时，该坐标获取部分别获取所述测定探头的移动量和所述探头输出；矩阵生成部，其根据该坐标获取部的输出，生成由线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵，该线性校正元素和该非线性校正元素分别用于校正针对所述测定探头的移动量的所述探头输出的线性坐标成分和非线性坐标成分；以及探头输出校正部，其使用该校正矩阵校正所述探头输出，其中，所述坐标获取部在所述线性校正元素的数量与所述非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取所述测定探头的移动量和所述探头输出。