[发明专利]体声波滤波器装置及制造体声波滤波器装置的方法有效
| 申请号： | 201710733413.4 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107800402B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 李镇佑;朴赞喜;金光洙;金尚填 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 马金霞;马翠平 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波滤波器装置及制造体声波滤波器装置的方法，所述体声波滤波器装置包括：基板，包括由第一凹槽和与所述第一凹槽相邻的第二凹槽形成的通孔；膜层，与所述基板形成腔；滤波器，包括设置在所述膜层上的下电极、被设置为覆盖所述下电极的部分的压电层以及形成为覆盖所述压电层的部分的上电极；以及电极连接构件，设置在所述基板中，并且连接到所述下电极和所述上电极中的任一个，其中，所述电极连接构件包括设置在所述第一凹槽中的插入电极以及连接到所述插入电极并设置在所述第二凹槽的内周表面和所述基板的表面上的过孔电极。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波滤波器装置，包括：基板，包括由第一凹槽和与所述第一凹槽相邻的第二凹槽形成的通孔；膜层，与所述基板形成腔；滤波器，包括设置在所述膜层上的下电极、被设置为覆盖所述下电极的部分的压电层以及形成为覆盖所述压电层的部分的上电极；以及电极连接构件，设置在所述基板中，并且连接到所述下电极和所述上电极中的任一个，其中，所述电极连接构件包括设置在所述第一凹槽中的插入电极以及连接到所述插入电极并设置在所述第二凹槽的内周表面和所述基板的表面上的过孔电极。
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