[发明专利]一种用于多工质气体微流量校准的供气装置及供气方法

摘要

本发明公开了一种用于多工质气体微流量校准的供气装置及供气方法，该供气装置由多个高压气瓶并联而成的储气系统用于提供多种校准气体，能够提供与工质实际气体相符的校准气体；通过电气路转换器和稳压系统来确保校准气体的进出口压力，使得提供的校准气体与工质气体实际压力一致，更加符合实际工况，对工质气体微流量校准更为精确。本发明能够提供与工质实际气体相符的校准气体，同时提供的校准气体压力与工质气体实际压力一致；供气方法简单可行，易操作。

主权项

1.一种用于多工质气体微流量校准的供气装置，其特征在于，该供气装置包括储气系统、电气路转换器、稳压系统、校准系统及抽空机组；所述储气系统用于提供多种校准气体；电气路转换器用于确保进入稳压系统的气体达到预设的入口压力；稳压系统用于提供达到预设出口压力的校准气体；所述抽空机组用于供气前对供气装置抽真空；所述稳压系统包括稳压室、压力计及出口阀门，稳压室与压力计串联，出口阀门设在稳压室出口的管道上；每个稳压室及压力计均与一种工质气体的管道对应相连；供气时稳压室中始终保持正压状态，所述稳压室的容积根据预设压力值设计，稳压室选用不锈钢，稳压室内壁进行处理以减小放气率；储气系统通过管道与稳压系统连接，电气路转换器以及入口阀门设在储气系统与稳压系统之间的管道上，稳压系统与校准系统串联，气体质量流量控制器设在稳压系统与校准系统之间的管道上，所述抽空机组设在电气路转换器与入口阀门的管道上。