[发明专利]一种蒸发源装置在审
| 申请号： | 201710722815.4 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN107686969A | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应;李相烨;李先杰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源装置，该蒸发源装置包括蒸发源，设置在所述基板的下方；蒸发源遮挡板，设置在所述蒸发源和所述基板之间；驱动部件，与所述蒸发源遮挡板电性连接；所述驱动部件用于驱动所述蒸发源遮挡板相对于所述蒸发源旋转，并控制所述蒸发源遮挡板在镀膜过程中的旋转速率，以调整所述蒸发源的蒸镀速率。本发明的蒸发源装置，能够在镀膜过程中控制蒸发源的镀膜速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置用于对基板进行蒸镀操作，所述蒸发源装置包括：蒸发源，设置在所述基板的下方；蒸发源遮挡板，设置在所述蒸发源和所述基板之间；驱动部件，与所述蒸发源遮挡板连接；所述驱动部件用于驱动所述蒸发源遮挡板相对于所述蒸发源旋转，并控制所述蒸发源遮挡板在镀膜过程中的旋转速率，以调整所述蒸发源的蒸镀速率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司，未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710722815.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：侧流式反渗透滤芯组件
- 下一篇：一种滤芯组件和净水机
- 同类专利
- 专利分类
