[发明专利]检查等离子体处理装置的喷淋板的方法有效
| 申请号： | 201710711805.0 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107768224B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 网仓纪彦;实吉梨沙子 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查等离子体处理装置的喷淋板的方法。在一个实施方式的方法中被检查的所述等离子体处理装置中，气体排出部具有喷淋板。喷淋板形成有多个气体排出孔。该方法包括：(i)设定从第一流量控制器输出的气体的流量的步骤；和(ii)在将以设定的流量从第一流量控制器输出的气体供给到气体排出部且在第一流量控制器与气体排出部之间分支而供给到压力控制式的第二流量控制器的内部的流路的状态下，利用该第二流量控制器的压力计取得表示该第二流量控制器的内部的所述流路中的压力的测定值的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 等离子体 处理 装置 喷淋 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查等离子体处理装置的喷淋板的方法，其特征在于，/n所述等离子体处理装置包括：/n腔室主体；/n设置在由所述腔室主体提供的腔室内的载置台；和/n气体排出部，其设置在所述载置台的上方且具有形成有多个气体排出孔的所述喷淋板，/n所述方法包括：/n设定从第一流量控制器输出的气体的流量的步骤；和/n在将以设定的所述流量从所述第一流量控制器输出的气体供给到所述气体排出部、且在所述第一流量控制器与所述气体排出部之间分支而供给到压力控制式的第二流量控制器的内部的流路的状态下，利用该第二流量控制器的压力计取得表示该第二流量控制器的内部的所述流路中的压力的测定值的步骤。/n
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