[发明专利]一种电容式MEMS传感器阵列

摘要

本发明提供一种电容式MEMS传感器阵列，包括至少3个纵向排列乘以至少3个横向排列的电容式MEMS传感器，所述电容式MEMS传感器包括聚焦层、上电极、上电极引出线、上电极引出板、上电极数据复合引入板、震动薄膜、间隙空腔、支撑层、绝缘层、下电极、下电极引出线、下电极引出板、下电极数据复合引入板、阵列基底层、自动切换单元、成像信号整合单元，所述自动切换单元控制电容式MEMS传感器在触压功能状态与超声功能状态之间切换，控制电容式MEMS传感器采集触压信号或者超声信号，成像信号整合单元整合上述数据信号，输出立体的三维形态数据信号。

主权项

一种电容式MEMS传感器阵列，包括至少3个纵向排列乘以至少3个横向排列的电容式MEMS传感器（6），所述电容式MEMS传感器（6）包括聚焦层（4），上电极（1），上电极引出线（11），上电极引出板（12），上电极数据复合引入板（14），震动薄膜（31），间隙空腔（32），支撑层（33），绝缘层（34），下电极（2），下电极引出线（21），下电极引出板（22），下电极数据复合引入板（24），阵列基底层（35），所述聚焦层（4）位于上电极（1）上层，整体外表面呈平展形状，所述上电极（1）与下电极（2）垂直对应，所述震动薄膜（31）选用SiN和SiO复合膜，保证未施加偏置电压时震动薄膜（31）的平展性，所述下电极（2）与阵列基底层（35）紧密贴合，所述阵列基底层（35）外侧面整体呈平展形状，阵列基底层（35）内侧面呈间断式规律的倒置去尖顶金字塔形状或者研钵体形状，其特征在于，还包括自动切换单元（71）和成像信号整合单元（72），所述自动切换单元（71）控制电容式MEMS传感器（6）在触压功能状态与超声功能状态之间切换，控制电容式MEMS传感器（6）采集触压信号或者超声信号；所述成像信号整合单元（72）接收每个电容式MEMS传感器（6）输出的触压信号和/或超声信号，并将触压信号采集的横截面大小、形状数据信号与超声信号采集的距离皮肤深度、囊实性数据信号整合，输出立体的三维形态数据信号。