[发明专利]封装结构在审
申请号: | 201710702304.6 | 申请日: | 2017-08-16 |
公开(公告)号: | CN108538812A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 林宜宏;宋立伟 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种封装结构,包括一晶粒、一第一绝缘层以及一第一导电层。所述晶粒包括一第一对位图案。所述第一绝缘层包括一第一开口。所述第一导电层包括一第一导电图案及一第二对位图案。所述第一导电图案位于所述第一开口,且所述第二对位图案位于所述第一绝缘层上。所述第一对位图案与所述第二对位图案相对应设置。本揭露在晶粒与导电层上分别设置对位图案,因此,本揭露可利用对位图案进行晶粒与导电层的对位。在对位后,晶粒与导电层上的对位图案即会重叠。本揭露可根据晶粒与导电层上的对位图案的重叠情况,同时量测X方向与Y方向的覆盖误差,以增进量测效率。 | ||
搜索关键词: | 对位图案 晶粒 导电层 绝缘层 第一导电层 导电图案 封装结构 对位 开口 量测效率 量测 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:一晶粒,包括一第一对位图案;一第一绝缘层,包括一第一开口;以及一第一导电层,包括一第一导电图案及一第二对位图案,所述第一导电图案位于所述第一开口,所述第二对位图案位于所述第一绝缘层上;其中,所述第一对位图案与所述第二对位图案相对应设置。
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