[发明专利]封装结构在审

专利信息
申请号: 201710702304.6 申请日: 2017-08-16
公开(公告)号: CN108538812A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 林宜宏;宋立伟 申请(专利权)人: 群创光电股份有限公司
主分类号: H01L23/544 分类号: H01L23/544
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种封装结构,包括一晶粒、一第一绝缘层以及一第一导电层。所述晶粒包括一第一对位图案。所述第一绝缘层包括一第一开口。所述第一导电层包括一第一导电图案及一第二对位图案。所述第一导电图案位于所述第一开口,且所述第二对位图案位于所述第一绝缘层上。所述第一对位图案与所述第二对位图案相对应设置。本揭露在晶粒与导电层上分别设置对位图案,因此,本揭露可利用对位图案进行晶粒与导电层的对位。在对位后,晶粒与导电层上的对位图案即会重叠。本揭露可根据晶粒与导电层上的对位图案的重叠情况,同时量测X方向与Y方向的覆盖误差,以增进量测效率。
搜索关键词: 对位图案 晶粒 导电层 绝缘层 第一导电层 导电图案 封装结构 对位 开口 量测效率 量测 覆盖
【主权项】:
1.一种封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:一晶粒,包括一第一对位图案;一第一绝缘层,包括一第一开口;以及一第一导电层,包括一第一导电图案及一第二对位图案,所述第一导电图案位于所述第一开口,所述第二对位图案位于所述第一绝缘层上;其中,所述第一对位图案与所述第二对位图案相对应设置。
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