[发明专利]用于裸芯安装的基底上的环氧涂层

摘要

公开一种系统和方法，用于在基底面板上的基底施加裸芯安装的环氧。所述系统包括窗口夹板，该窗口夹板具有一个或更多的窗口，通过该窗口所述环氧可被施加至基底面板上。所述一个或更多的窗口的尺寸和形状与基底上的接收裸芯安装环氧的区域的尺寸和形状对应。一旦裸芯安装环氧通过窗口夹板的窗口喷涂至基底上，裸芯可粘结在基底上并且环氧在一个或更多的固化步骤中固化。所述系统可进一步包括用于从窗口夹板清除环氧的清洁跟随器，和用于清除窗口夹板的窗口的侧壁的环氧的窗口清洁机构。

主权项

一种制造半导体器件的方法，包含以下步骤：(a)在所述面板上限定多个基底，每一个基底包括导电图案和用于接收半导体裸芯的区域；(b)在所述基底面板的至少一部分上安置窗口夹板，所述窗口夹板包括一列和一行窗口中的至少之一；(c)通过所述至少一列或行窗口喷涂A‑状态液体环氧至所述基底的所述用于接收半导体裸芯的区域上；以及(d)将所述A‑状态环氧部分固化到B‑状态环氧以增加所述环氧的粘度性能的步骤；(e)在所述基底的所述区域上安装半导体裸芯，所述区域包括所述B‑状态环氧；以及(f)将所述环氧完全固化到C‑状态环氧以将所述半导体裸芯固定到所述基底面板。