[发明专利]内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪

摘要

本发明公开内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪，包括半球谐振壳，半球谐振壳外表面上方设有外层曲面立体电极，半球谐振壳内表面下方设有内层曲面立体电极，外层曲面立体电极与内层曲面立体电极的平面基底之间通过密封垫密封连接；外层曲面立体电极顶部还设有盖帽，盖帽上设有一组与外层曲面立体电极一一对应的引线孔；外层曲面立体电极和内层曲面立体电极一一对应或者相互交错的排布在半球谐振壳的四周，并分别形成外电极电容间隙和内电极电容间隙，本发明同时采用内外两组曲面立体电极进行陀螺的驱动和信号检测，与谐振壳体的电极间隙均匀一致，传感面积大，可以充分感知谐振器壳体结构的振动信息，有利于陀螺利用电容差分技术进行测试。

主权项

1.内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪，其特征在于，包括半球谐振壳，半球谐振壳的外顶点设有锚点，半球谐振壳外表面上方设有外层曲面立体电极，外层曲面立体电极包含支撑电极座、四个支撑电极与一组功能电极，四个支撑电极分别连接在支撑电极座四周构成十字形，功能电极间隔设于支撑电极之间、且与支撑电极及支撑电极座通过隔离槽相互隔离，外层曲面立体电极呈环形分布、且底部形状与半球谐振壳外表面相适应，支撑电极座中心设有用于和锚点连接的固定孔；半球谐振壳内表面下方设有内层曲面立体电极，内层曲面立体电极包含平面基底，平面基底中心设有与半球谐振壳内表面形状相适应的半球基底，半球基底的表面贴合有一组呈环形分布、且间隔设置的电极片，平面基底上还设有一组呈环形分布、与电极片对应连接的导线，每根导线的另一端还分别设有电极焊盘；所述平面基底及半球基底与电极片、导线、电极焊盘相互绝缘；外层曲面立体电极与内层曲面立体电极的平面基底之间通过密封垫密封连接；外层曲面立体电极顶部还设有盖帽，盖帽上设有一组与外层曲面立体电极一一对应的引线孔。