[发明专利]一种用于抗冲蚀涂层质量变化监测的石英晶体谐振器及其制备方法

摘要

本发明属于航空发动机叶片抗冲蚀防护涂层性能测试技术领域且公开了一种用于抗冲蚀涂层质量变化监测的石英晶体谐振器，包括圆形石英晶体振荡片，所述圆形石英晶体振荡片上下表面上设有非对称金属电极和金属电极，以及所述圆形石英晶体振荡片上表面中心区域设有的抗冲蚀涂层；经过圆形石英晶体振荡片几何中心的法线与经过非对称金属电极几何中心的法线、经过金属电极的几何中心的法线、经过上表面圆形抗冲蚀涂层几何中心的法线四者保持重合。本发明可以原位实时测量涂层试样的质量，并同时计算出抗冲蚀涂层冲蚀率随时间变化规律曲线。

主权项

一种用于抗冲蚀涂层质量变化监测的石英晶体谐振器，包括圆形石英晶体振荡片(1)，所述圆形石英晶体振荡片(1)上下表面上设有非对称金属电极(2)和金属电极(3)，以及所述圆形石英晶体振荡片(1)上表面中心区域设有的抗冲蚀涂层(4)；其特征在于，经过圆形石英晶体振荡片(1)几何中心的法线与经过非对称金属电极(2)几何中心的法线、经过金属电极(3)的几何中心的法线、经过上表面圆形抗冲蚀涂层(4)几何中心的法线四者保持重合。