[发明专利]一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法

摘要

一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，涉及微纳米加工领域。方法是：根据需要加工的特定形貌结构，设计制作异形电极刀具；将异形电极刀具固定于夹具上，再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上；将被加工工件固定于电解池底部，向电解池注入电解液，控制异形电极刀具逼近被加工工件，并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置；将辅助电极和参比电极浸入电解液中，电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具，启动电化学工作站，产生电化学电流；控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动，同时加工进行；加工结束后，被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。

主权项

1.一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，其特征在于：所述的方法包括以下步骤：步骤(1)：根据需要加工的特定形貌结构，设计并制作异形电极刀具(5)，所述的异形电极刀具(5)表面进行研磨抛光处理，使得表面质量符合要求；步骤(2)：将异形电极刀具(5)固定于夹具(6)上，再将所述的夹具(6)固定于多维操纵装置的Z方向位移台(1‑2)上；步骤(3)：将被加工工件(3)固定于电解池(4)底部，向所述的电解池(4)中注入电解液，并使电解液没过被加工工件(3)；步骤(4)：控制异形电极刀具(5)逼近被加工工件(3)，并利用多维操纵装置的X‑Y方向位移台(1‑1)调整异形电极刀具(5)与被加工工件(3)相对位置；步骤(5)：将辅助电极(7)和参比电极(8)浸入电解液中，电化学工作站(10)的工作电极线连接异形电极刀具(5)，启动电化学工作站(10)，对异形电极刀具(5)施加‑2～2V恒电位，产生电化学电流；步骤(6)：控制C轴旋转台(2)使被加工工件(3)进行旋转运动，同时加工进行；步骤(7)：控制加工时间在5‑1000min之间，加工结束后，异形电极刀具(5)远离被加工工件(3)，加工完成，被加工工件(3)表面产生要求的形貌结构。