[发明专利]紫外光固化掩膜板及其制作方法和固化方法在审
申请号: | 201710649896.X | 申请日: | 2017-08-02 |
公开(公告)号: | CN107463063A | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 项小群 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/50 | 分类号: | G03F1/50;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种紫外光固化掩膜板及其制作方法和固化方法。所述紫外光固化掩膜板包括掩膜板基板,在所述掩膜板基板上设置有阻挡区域及透光区域,所述阻挡区域对应液晶显示面板的液晶区,所述透光区域对应液晶显示面板的外框的封框胶所在区域,且所述透光区域允许紫外光透过,在所述透光区域设置至少一个改变光路装置,所述改变光路装置能够改变紫外光的光路。本发明的优点在于,在紫外光固化掩膜板上增加改变光路装置,可以使垂直照射至紫外光固化掩膜板的紫外光能够完整、均匀地照射到液晶显示面板被金属线遮挡的区域,从而充分固化封框胶,避免穿刺风险。 | ||
搜索关键词: | 紫外 光固化 掩膜板 及其 制作方法 固化 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外光固化掩膜板,其特征在于,包括掩膜板基板,在所述掩膜板基板上设置有阻挡区域及透光区域,所述阻挡区域对应液晶显示面板的液晶区,所述透光区域对应液晶显示面板的外框的封框胶所在区域,且所述透光区域允许紫外光透过,在所述透光区域设置至少一个改变光路装置,所述改变光路装置能够改变紫外光的光路。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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