[发明专利]一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 201710644047.5 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107543683A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王道档;徐平;解钟敏;龚志东;孔明;刘维;赵军;郭天太 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 317523 浙江省台州市温岭市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统及测量方法，涉及测量技术领域。它利用三坐标测量机对测量系统结构位置参数预标定，待测透射元件置于显示器屏幕与CCD相机之间，采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的待测透射元件透射表面上的点投影在CCD相机中的实际光斑坐标值，再利用光线追迹法生成基于检验光路结构位置参数的理想坐标值，在此基础上对待测透射元件进行斜率误差计算，最后利用积分法得到元件像差数据。本发明解决了现有技术中非接触式的高精度透射元件表面检测的动态范围小、设备昂贵的技术问题。本发明为大动态范围的透射元件像差测量提供一种通用化可行方法，具有极其重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 元件 高精度 动态 范围 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种透射元件像差的高精度大动态范围测量系统，它包括显示器（1）、待测透射元件（2）、CCD相机（4）、三坐标测量机和计算机，其特征在于：所述显示器（1）的显示屏与CCD相机（4）的镜头面对面布置，待测透射元件（2）位于显示器（1）与CCD相机（4）之间，且CCD相机（4）能够获得待测透射元件（2）的完整成像，所述计算机预存有显示x方向和y方向的四步90°移相正弦直条纹的程序，且能控制该条纹在所述显示器（1）的显示屏显示，所述显示器（1）显示的该条纹发出的光穿过待测透射元件（2）被CCD相机（4）获得形成逆向哈特曼检验光路的光学偏折光路系统，所述三坐标测量机用于对光学偏折光路系统的几何结构位置参数预标定，计算机分别与显示器（1）、CCD相机（4）和三坐标测量机电连接。
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