[发明专利]一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法有效
| 申请号： | 201710643390.8 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107459345B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陆映东;武建良;马超宁;黄誓成 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 471100 河南省洛阳市洛阳空港*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法，包括以下步骤：㈠成型横截面为椭圆形的管状氧化铟锡靶材素坯；㈡在烧结炉的承烧板上，摆放二排挡块，二排挡块的间距比椭圆形氧化铟锡靶材素坯的外椭圆短轴大20～100mm；㈢将成型好的氧化铟锡靶材素坯平躺放在二排挡块之间，氧化铟锡靶材素坯的椭圆形长轴与承烧板垂直，然后在氧化铟锡靶材素坯两侧与挡块之间填充氧化铝砂，最后开始升温脱脂和烧结，得到氧化铟锡旋转靶材。该方法采用平躺烧结，可使旋转靶材的长度不受限于烧结炉高度，而是受限于烧结炉长度，并且采用椭圆形的素坯结构，能够抵消大部分的烧结变形，烧结变形量小，适合批量生产长尺寸的氧化铟锡旋转靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 旋转 烧结 方法 | ||
【主权项】：
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