[发明专利]用于晶圆盒的气体填充装置及气体填充系统

摘要

一种用于晶圆盒的气体填充装置，包括一充气组件，用于将符合湿度及气压要求的气体充入该晶圆盒，该充气组件包括一充气管道以及与该充气管道连接的一气密元件，该气密元件包括：一软质吸取件，在该晶圆盒放置于一晶圆传送装置的支撑面上之前，该软质吸取件的初始位置低于该支撑面；一喷嘴，该喷嘴的一端插接于该软质吸取件，并在该软质吸取件中形成允许所述气体通过的一开口，该喷嘴远离该软质吸取件的另一端活动地插接于该充气管道中；一驱动件，固定于该喷嘴，用于在该晶圆盒放置于该晶圆传送装置的支撑面上之后，驱动该喷嘴以及插接于该喷嘴的该软质吸取件向上运动并抵接于该晶圆盒底部，使得该软质吸取件受压而在竖直方向上产生弹性形变。

主权项

1.一种气体填充系统，包括一气体填充装置以及与该气体填充装置连接的一晶圆盒，其特征在于，该气体填充装置包括一充气组件，用于将符合湿度及气压要求的气体充入该晶圆盒，该充气组件包括一充气管道以及与该充气管道连接的一气密元件，该气密元件将该充气管道气密连接至该晶圆盒，其中，该气密元件包括：一软质吸取件，在该晶圆盒放置于一晶圆传送装置的支撑面上之前，该软质吸取件的初始位置低于该支撑面，该软质吸取件采用一弹性材料制成；一喷嘴，该喷嘴的一端插接于该软质吸取件，并在该软质吸取件中形成允许所述气体通过的一开口，该喷嘴远离该软质吸取件的另一端活动地插接于该充气管道中；以及一驱动件，固定于该喷嘴，该驱动件用于在该晶圆盒放置于该晶圆传送装置的支撑面上之后，驱动该喷嘴以及插接于该喷嘴的该软质吸取件向上运动并抵接于该晶圆盒底部，使得该软质吸取件受压而在竖直方向上产生弹性形变，从而维持气密连接。