[发明专利]一种基于石墨烯谐振特性的单轴加速度计在审
| 申请号： | 201710638919.7 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107688103A | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;朱黎明;李昊予;邢维巍 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯谐振特性的单轴加速度计，主要由玻璃衬底、质量块、杠杆传递结构、两个传递梁和两个石墨烯谐振梁组成。本发明采用两个对称分布的石墨烯谐振梁构成差动敏感结构质量块直接感受外界加速度并产生惯性力，通过杠杆传递结构放大后作用至对称分布的传递梁，两个传递梁一个感受压缩应力，一个感受拉伸应力，导致置于传递梁上的两个石墨烯谐振梁轴向应力分别减小和增加，构成差动敏感形式。通过检测两个谐振梁的谐振频率差即可解算出被测加速度信号。由于石墨烯谐振梁本身具备非常优异的谐振特性，再结合本发明中所设计的对称结构，可实现加速度信号的差动检测，提高测量的灵敏度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 谐振 特性 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯谐振特性的单轴加速度计，其特征在于包括：玻璃衬底(1)、质量块(2)、第一杠杆传递结构(3)、第二杠杆传递结构(6)、第一传递梁(4)、第二传递梁(7)、第一石墨烯谐振梁(5)、第二石墨烯谐振梁(8)和外锚点(9)；四个外锚点(9)与玻璃衬底(1)固连，质量块(2)通过四对折叠梁(10)与外锚点(9)固连在一起，且质量块(2)与玻璃衬底(1)之间存在微小间隙以允许质量块(2)在y轴方向产生位移；第一传递梁(4)和第二传递梁(7)的一端固连在第二内锚点(12)上，另一端通过杠杆传递结构(3、6)与质量块(2)紧密连接，且两个传递梁呈上下完全对称放置；第一内锚点(11)为第一杠杆传递结构(3)、第二杠杆传递结构(6)的支撑点；第一石墨烯谐振梁(5)和第二石墨烯谐振梁(8)分别悬置在第一传递梁(4)和第二传递梁(7)中部的凹腔中央，且第一石墨烯谐振梁(5)的两端吸附于第一传递梁(4)上，第二石墨烯谐振梁(8)的两端吸附于第二传递梁(7)上，从而构成双端固支梁。
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