[发明专利]在激光退火系统中用于控制边缘轮廓的定制光瞳光阑形状

摘要

本发明的实施方式一般涉及具有用于将图案成像于基板上的光学元件的激光退火系统。光学元件可包含将图像整形以暴露于基板的表面上的多个孔或一个孔。该图像可由光学元件系统内的孔的形状加以确定。

主权项

一种基板处理装置，包括：能量模块，所述能量模块包括多个激光源以用于提供具有第一数值孔径的光照；脉冲控制模块；脉冲整形模块；激光光束均化器；第一孔构件，所述第一孔构件具有第一孔，所述第一孔受所述多个激光源照射；第二孔构件，所述第二孔构件具有第二孔，所述第二孔设置于所述第一孔的下游；和中继光学元件，所述中继光学元件具有第二数值孔径，所述第二数值孔径由所述第二孔所限定，其中所述第二孔的几何形状具有沿第一方向的尺寸，所述沿第一方向的尺寸适于匹配所述第一孔的所述第一数值孔径比上所述中继光学元件的所述第二数值孔径的比值，并且其中所述第二孔的所述几何形状具有沿第二方向的尺寸，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述沿第二方向的尺寸适于匹配所述第一孔的所述第一数值孔径比上所述中继光学元件的所述第二数值孔径的比值。