[发明专利]物料供给装置和晶体生长系统有效
申请号: | 201710624494.4 | 申请日: | 2017-07-27 |
公开(公告)号: | CN109306515B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 张永辉;周锐;李侨;付泽华;张伟建;刘喜保 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的物料供给装置,用于向炉体内部的坩埚中供给物料,物料供给装置包括传料机构、喂料机构和投料通路,传料机构向所述喂料机构传送可控量的物料,喂料机构具有将物料从炉体外部输入炉体内部的喂料通路,投料通路位于所述炉体内部且与所述坩埚相对,喂料通路对接所述投料通路,物料经喂料通路导入投料通路并由投料通路输入坩埚中。本发明公开的晶体生长系统,包括炉体,坩埚以及如上所述的物料供给装置。本发明满足了大加料量的要求,加料过程与单晶硅棒冷却过程可以并行,缩短了加料时间,提高了单晶硅棒的生产效率,同时提高了外部加料的稳定性和安全性。 | ||
搜索关键词: | 物料 供给 装置 晶体生长 系统 | ||
【主权项】:
1.物料供给装置,其特征在于,用于向炉体(8)内部的坩埚(7)中供给物料,所述物料供给装置包括传料机构、喂料机构(3)和投料通路(4),所述传料机构向所述喂料机构(3)传送可控量的物料,所述喂料机构(3)具有将物料从炉体(8)外部输入炉体(8)内部的喂料通路(34),所述投料通路(4)位于所述炉体(8)内部且与所述坩埚(7)相对,所述喂料通路(34)对接所述投料通路(4),物料经所述喂料通路(34)导入投料通路(4)并由所述投料通路(4)输入所述坩埚(7)中。
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