[发明专利]蚀刻液组合物及利用到该组合物的金属图案制造方法有效
| 申请号： | 201710619431.X | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107653451B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 郑钟铉;朴弘植;梁熙星;鞠仁说;权玟廷;金相泰;朴英哲;尹暎晋;李钟文;林大成 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种蚀刻液组合物及利用到该组合物的金属图案的制造方法。所述蚀刻液组合物包含：过氧化氢；含氟化合物；唑系化合物；含羧基胺系化合物；磷酸系化合物；被C |
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| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 利用 金属 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，包含：过氧化氢；含氟化合物；唑系化合物；含羧基胺系化合物；磷酸系化合物；被C1‑C5烷基所取代或未被取代的丙二醇或者被C1‑C5烷基所取代或未被取代的丁二醇；以及水。
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