[发明专利]光阻浓度的控制装置及控制方法有效
| 申请号： | 201710617397.2 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107526193B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 刘超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光阻剥离液的控制装置及控制方法，控制装置包括：用于存储光阻剥离新液的第一存储槽、用于存储光阻剥离液的光阻剥离槽、用于存储光阻剥离废液的第二存储槽、检测器以及控制器；光阻剥离槽和第一存储槽通过第一开关连通；光阻剥离废液为从光阻剥离槽排出的光阻剥离液，第二存储槽和光阻剥离槽通过第二开关连通；检测器固定于所阻剥离槽内，用于检测光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X；控制器，用于根据光阻浓度X控制第二开关打开和关闭，以使得光阻剥离槽中光阻剥离液的预设量Y流出至所述第二存储槽内；以及用于根据光阻浓度X控制第一开关打开和关闭，以使得第一存储槽中光阻剥离新液的预设量Y流入到光阻剥离槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 浓度 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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