[发明专利]可实现缺陷自动调控的电子衍射仪

摘要

本发明涉及电子衍射仪，提供一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，还包括检测光路、缺陷调控光路以及处理单元，检测光路的三倍频激光由第一入射窗口透射至真空样品室内，缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至真空样品室内的样品台上，于真空样品室内还设置有电子枪，电子枪的阴极位于检测光路上，缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，处理单元包括接收组件以及控制中心。本发明的电子衍射仪可对微纳制造过程原位实时无损测量，实现边生长、边检测，且通过对衍射图像处理获得样品表面缺陷信息，并根据此信息反馈调节飞秒激光脉冲能量及扫描位置，进行缺陷的修复，实现边检测、边调控的目的。

主权项

1.一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，所述真空样品室内设置有样品台，且所述真空样品室设置有第一入射窗口以及第二入射窗口，其特征在于：还包括激光发射器、检测光路、缺陷调控光路以及用于分析衍射图像的处理单元，所述激光发射器的发出光通过分光光路分别进入所述检测光路以及所述缺陷调控光路内，所述分光光路包括第一分束镜、激光二倍频装置、第二分束镜以及激光三倍频装置，所述激光发射器的发出光经所述第一分束镜分光后，其中一部分依次经所述激光二倍频装置、所述第二分束镜以及所述激光三倍频装置，另一部分经反射后进入所述激光三倍频装置，所述激光三倍频装置的出光口连接所述检测光路；所述激光发射器的发出光经所述激光二倍频装置作用后生成二倍频激光，且经所述第二分束镜分光后，其中一部分二倍频激光进入所述缺陷调控光路，另一部分二倍频激光进入所述激光三倍频装置内，所述检测光路的三倍频激光由所述第一入射窗口透射至所述真空样品室内，所述缺陷调控光路的二倍频激光由所述第二入射窗口透射至所述真空样品室内的所述样品台上，于所述真空样品室内还设置有用于向所述样品台上发射电子脉冲的电子枪，所述电子枪的阴极位于所述检测光路上，所述缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，所述处理单元包括用于接收衍射图像的接收组件以及分析接收的衍射图像以控制所述激光脉冲能量调节装置以及所述激光脉冲扫描装置的控制中心，所述缺陷调控光路上设置有光程延时组件。/n