[发明专利]一种导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层的制备工艺

摘要

本发明公开了一种有效提高导轨表面硬度、耐磨性、耐腐蚀性、延长使用寿命和提高导轨表面热硬性的导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层的制备工艺。本发明所述导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层的化学成分及含量分别为：N 50‑52%、Cr 48‑50%，所述导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层包括沉积层和扩散层，所述沉积层的厚度为14‑17um；所述制备工艺，它包括以下步骤：A.待喷涂导轨表面预加工、B.导轨表面净化、C.遮蔽保护、D.表面粗化、E.涂层制备、F.涂层研磨加工。本发明应用于各类高精度移动平台导轨的技术领域。

主权项

1.一种导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层的制备工艺，其中，所述导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层的化学成分及含量分别为：N 50‑52%、Cr 48‑50%，所述导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层包括沉积层和扩散层，所述沉积层的厚度为14‑17um，其特征在于，该工艺包括以下步骤：A.待喷涂导轨表面预加工；B.导轨表面净化；C.遮蔽保护；D.表面粗化；E.涂层制备；F.涂层研磨加工；所述步骤E中的涂层制备中的涂层是采用双阴极等离子溅射沉积技术制得，其具体步骤为：a.将工件装入双阴极等离子溅射沉积炉内；b.打开真空泵，将所述沉积炉的内腔抽到真空度3.8×10‑3 Pa后向所述沉积炉内充入氩气，稳定气压至19‑22Pa；c.打开冷却水，将工件极电压缓慢调至600V，对试样通过双阴极等离子预轰击10分钟；d.将气压调至35Pa，将源极电压调到950 V和工件极电压缓慢调至300V，当工作温度达到900℃后，各工艺参数稳定后开始保温计时；e.保温3小时后，关闭源极和工件极电源，将所述沉积炉抽到极限真空，所述极限真空为6×10‑4Pa随所述沉积炉冷却至室温后开炉取出试样，放置在干燥皿中；f.将第一次制备的导轨试样，靶材到预定位置，重复上面b，c，d步骤，保温半小时后通入氮气，氩气与氮气的气流量比为40:1，气压仍为35Pa，源极电压调整为900V，工件电压调整为350V，保温时间3h，关闭源极和工件极电源，将所述沉积炉抽到极限真空，随炉冷却至室温后开炉取出试样，放置在干燥皿中。