[发明专利]振膜及麦克风在审
| 申请号： | 201710590963.5 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109286883A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 缪建民 | 申请（专利权）人： | 上海微联传感科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种振膜及麦克风，包括：主振动部、多个弧形附振动部、多个弧形悬空开口以及连接部；弧形附振动部设置在主振动部和连接部之间，弧形悬空开口设置在弧形附振动部与主振动部之间，弧形悬空开口与弧形附振动部一一对应设置，弧形悬空开口包裹弧形附振动部的弧形边缘；连接部包括外边缘和内边缘，外边缘为振膜的边缘，弧形悬空开口的两个端点延伸到内边缘上；振膜为中心对称图形，任意相邻两个弧形悬空开口的两个端点连线的中点与振膜的中心之间的连线的夹角相同。本发明实施例提供了一种振膜及麦克风，提高了振膜及麦克风的灵敏度，降低了生产过程中，热应力对振膜的影响，提高了MEMS麦克风的良率以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 振动部 悬空 麦克风 开口 主振动 内边缘 外边缘 一一对应设置 中心对称图形 端点连线 弧形边缘 开口设置 生产过程 灵敏度 热应力 连线 良率 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种振膜，其特征在于，包括：主振动部、多个弧形附振动部、多个弧形悬空开口以及连接部；所述弧形附振动部设置在所述主振动部和所述连接部之间，所述弧形悬空开口设置在所述弧形附振动部与所述主振动部之间，所述弧形悬空开口与所述弧形附振动部一一对应设置，所述弧形悬空开口包裹所述弧形附振动部的弧形边缘；所述连接部包括外边缘和内边缘，所述外边缘为所述振膜的边缘，所述弧形悬空开口的两个端点延伸到所述内边缘上；所述振膜为中心对称图形，任意相邻两个所述弧形悬空开口的两个端点连线的中点与所述振膜的对称中心之间的连线的夹角相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微联传感科技有限公司，未经上海微联传感科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710590963.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无源辐射器调谐箱
- 下一篇：背极板及麦克风
