[发明专利]一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201710582068.9 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107507866B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;曾勇;姚日晖;郑泽科;章红科;刘贤哲;李晓庆;张啸尘;王磊;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/22 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于柔性显示器件技术领域，公开了一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管及其制备方法。所述多晶氧化物柔性薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成，所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。本发明的薄膜晶体管有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，通过诱导层表面的金属离子诱导多晶氧化物半导体晶化，改善结晶性，提升薄膜晶体管的性能，能够在室温下实现高性能的柔性薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 氧化物 柔性 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管，由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成，其特征在于：所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。
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