[发明专利]TE偏振的单脊结构1×5分束光栅有效
| 申请号： | 201710576263.0 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107272099B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 项长铖;周常河;吴俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于1550纳米波长的TE偏振的单脊结构1×5分束光栅，该光栅的光栅周期为3010～3020纳米，脊宽为1505～1510纳米，刻蚀深度为2270～2278纳米。当1550纳米波长的TE偏振光垂直入射时，其透射光将分成等强度的5束光，其衍射效率大于97％，分束均匀性优于1.5％。本发明TE偏振的单脊结构1×5分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | te 偏振 结构 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种用于1550纳米波长的TE偏振的单脊结构1×5分束光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为3010～3020纳米，脊宽为1505～1510纳米，刻蚀深度为2270～2278纳米，透射分束光栅，光栅由BK7玻璃而成。
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