[发明专利]一种焰熔法生长光学级钛酸锶单晶体装置

摘要

本发明公开了一种焰熔法生长光学级钛酸锶单晶体装置，包括：升降机构、结晶台、炉体、生长室、燃烧器、棒体原料、送料机构；所述结晶台安装在升降机构上，单晶体在结晶台上进行结晶，所述炉体内部的腔室为生长室，单晶体置于生长室中，所述燃烧器置于炉体上，燃烧器底部的喷嘴与生长室相连通，棒体原料穿过燃烧器置于生长室中的单晶体上方，所述送料机构置于棒体原料顶部。本申请提高了晶体稳定生长所需给料量的控制精度，进而提高了晶体质量和成品率，降低了晶体生长成本。

主权项

1.一种焰熔法生长光学级钛酸锶单晶体装置，其特征在于，包括：升降机构、结晶台、炉体、生长室、燃烧器、棒体原料、送料机构；所述结晶台安装在升降机构上，单晶体在结晶台上进行结晶，所述炉体内部的腔室为生长室，单晶体置于生长室中，所述燃烧器置于炉体上，燃烧器底部的喷嘴与生长室相连通，棒体原料穿过燃烧器置于生长室中的单晶体上方，所述送料机构置于棒体原料顶部；/n所述生长室的结构为三段圆锥台型结构，上段为气体混合与燃烧区，其上底、下底直径分别为40mm、50mm，高度为100mm；中段为晶体生长高温区，其上底、下底直径分别为50mm、60mm，高度为20mm；下段为晶体保温区，其上底、下底直径分别为60mm、70mm，高度为250mm；/n生长室的晶体生长高温区中线的圆周上分布2个互成90°的观测孔，观测孔为外小内大的椭圆喇叭型，炉体壁处椭圆的短轴和长轴分别为10mm和20mm，生长室内壁处椭圆的短轴和长轴分别为15mm和30mm。/n